キヤノンは、既存の300mmウエハー向けi線半導体露光装置とKrF半導体露光装置を200mmウエハーに対応させる「200mmオプション」を2017年12月11日に発売した。IoTや車載半導体デバイスに向ける。

この先は会員の登録が必要です。有料会員(月額プラン)は申し込み初月無料!