東北大学 国際集積エレクトロニクス研究開発センター(CIES)と東京エレクトロン、キーサイト・テクノロジーの共同グループは、2016年8月下旬に発表された「第14回 産学官連携功労者表彰」で、極めて顕著な功績または功労があった成果に対して与えられる「内閣総理大臣賞」を受賞した(図1)。

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