Siウエハー上に形成したSiキャパシター
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 フランスIPDiA社は、「electronica2016」に出展し、半導体プロセスで製造可能なSiキャパシターの製品群をアピールしていた。同社は、村田製作所の子会社であるオランダMurata Electronics Europe社がIPDiA社の株式を取得し、2016年10月に買収したばかりの企業である。そのため、村田製作所ブースとは別に、ブースを設けた。

 Siキャパシターの特徴は積層セラミックコンデンサー(MLCC)に比べて、単位体積当たりの容量が大きい、薄くしやすい、ESLが低い、耐熱性に優れる、割れにくいといった特徴を備えること。こうした特徴が評価されて、ペースメーカーやインプラントなどの医療機器や、掘削用ドリルなどの産業機器で利用されてきた。医療機器や産業機器に加えて、今後は、携帯機器をはじめとする民生機器や自動車分野への拡販を狙う。

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