三菱重工工作機械(本社滋賀県栗東市)は、微細レーザー加工機「ABLASER」の新機種として、第四高調波(波長266nm)の深紫外(DUV)レーザーを採用した「同DUV」を発売する。DUVレーザーの特性と併せて集光光学系の設計を工夫することで、長い焦点深度を保ちながら集光径を小さくし、微細化と高精度化を図った。

この先は会員の登録が必要です。有料会員(月額プラン)は申し込み初月無料!