1. はじめに

 アジア最大級のディスプレー国際会議「24th International Display Workshops(IDW '17)」(2017年12月6日~8日、仙台国際センター)で筆者が興味を持った講演を紹介するシリーズ。最終回となる第11回は、広島大学教授の東清一郎氏の研究室による「リモートプラズマCVDによる低温SiNx封止膜の作製」に関する次の論文を取り上げる(論文番号OLED1-5L)。

・“Low Temperature Formation of SiNx Encapsulation Films by Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition”

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