「SEMICON China 2015」(2015年3月17~19日、中国・上海)のプレコンファレンスである「China Semiconductor Technology International Conference(CSTIC 2015)」などで講演するため、2015年3月15~17日に上海を訪問しました。

 CSTIC 2015での講演の後、昔の同僚であり、現在、Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology(SIMIT)のKey State Laboratory of Transducer TechnologyのDirectorであるXinXin Liさんを訪問し、クリーンルームを見学するとともに、情報交換をしました。クリーンルームに充実したMEMS製造装置がそろっているのは、世界の主要なMEMS研究拠点と同様ですが、多くの学生、研究員、テクニシャンが所狭しに実験をしている風景が印象的でした。立派な施設を見ても、SIMITの様子とは反対にユーザーが少なく閑散としていると、がっかりするだけではなく、クリーンルームを運営している立場からは心配してしまいます。

 日経テクノロジーオンラインの記事としても紹介したXinXin Liさんらの圧力センサーは、既にAdvanced Semiconductor Manufacturing社(ASMC)で商品化段階に入っているようです。最も基本的な構成では、大きさはわずかに0.45mm角であり、接合ウエハーを要しない片面のCMOSコンパチブルプロセスによって製造できますので、1米セント/チップ程度に安くできるとのことです。それで、階段を上り下りする気圧差を検出できる性能を持っています。基本的な構成のもの以外に、パッケージングからのストレスを回避できるようにダイヤフラムを片持ち梁構造で支えたもの(田中(秀)研究室のウエブサイトの「国際会議報告 MEMS 2013」を参照)、温度特性補正がされたもの、およびタイヤ空気圧センサー(tire pressure monitoring system=TPMS)向けに加速度センサーと一体化したものも開発されています。

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