加速度/角速度/力センサの開発を手掛けるワコーは、3枚のマスクで製造できる3軸加速度/3軸角速度(モーション)センサを開発した。通常は10数枚のマスクを使う。実現技術の詳細は明らかにしていないが、民生用センサの半値以下で販売できると見込んでいる。現在、半導体ファウンドリーと共同開発中で、いつでも製品化できるという。

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