米Cymer Inc.のChairman and CEO,Bob Akins氏はインタビューに応じ,半導体設備投資の近況と今後の見通し,技術の将来像について語った。最先端の露光技術に関しては設備投資減額の影響は他のプロセスに比べて大きくは受けないという。

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