韓国が国を挙げて大規模投資を進めているSi系集積化デバイスの研究開発施設「National NanoFab Center(NNFC)」。CMOS回路に,MEMSなどのデバイスを集積して付加価値を高めることを狙っている。ここを訪ねた東北大学助教授の田中秀治氏が,その訪問記を「MEMS International」に寄せた。以下は,同氏による寄稿記事である(三宅 常之=NIKKEI MICRODEVICES)。

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