微細な3次元形状を容易に観察・測定できる「共焦点顕微鏡」の用途が拡大している。これまではLSIや薄型ディスプレイといった分野で主に使われていたが,今後は光学フィルムや太陽電池,自動車といった分野にも用途が広がる。これらの分野は従来の技術では測定が難しいと考えられていたが,技術革新によって克服した。

 光学フィルムの表面に生じた1nm単位の凹凸,太陽電池表面の透明保護膜の膜厚,自動車向け電子部品のリードフレーム表面の粗さ─。製品の性能や信頼性を大きく左右するこれらの数値を正確に測定する手段として,「共焦点顕微鏡」を活用する場面が増えてきた。

出典:解説
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