MEMSセンサのトレンドの1つは、既に紹介したように、小形化・低コスト化です。もう1つのトレンドは高性能化です。1990年頃にランダムウォークにして100 °/√h程度であったMEMSジャイロの性能は、0.1 °/√h程度までよくなっています(図1)。20年の間に1000倍よくなったことになります。ジャイロが20年前には考えられなかったくらい小さくなり、そして安価に手に入るようになり、携帯情報機器のユーザー・インターフェース、ナビゲーション機能などは、やはり20年前には考えられなった形に革新されました。

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