東京エレクトロン デバイスは生産設備の異常判別プログラムを自動で作成する装置「CX-M」に、正常稼働データのみからモデルを作成できる機能を追加した「同ver.3.0」を発売した。正常稼働時のデータを学習し、そこからの変化を「外れ値」として検知できる判別モデルを作成する。

この先は会員の登録が必要です。有料会員(月額プラン)は初月無料!

日経 xTECHには有料記事(有料会員向けまたは定期購読者向け)、無料記事(登録会員向け)、フリー記事(誰でも閲覧可能)があります。有料記事でも、登録会員向け配信期間は登録会員への登録が必要な場合があります。有料会員と登録会員に関するFAQはこちら