ドイツInfineon Technologies(インフィニオン・テクノロジー)は、機械式の可動部分を不要にした、いわゆるメカレスLiDARのデモを「electronica 2018」で披露した。光源からの光を走査するMEMSミラーをアピールするのが目的である。車載用途を狙う。

 複数の発光点を備える「マルチエミッタ―」タイプのレーザーを光源に利用することを想定しており、水平方向に走査する1次元(1D)のMEMSミラーである。2次元のアレ―状に受光部を配置した受光素子を利用することで、2次元(2D)の点群データを取得できる。

 MEMSミラーの駆動に必要な電力が0.1W未満と小さいことや、反射率が95%超と高いことなどを訴求していた。大きさは2.7mm×2.3mm。走査角度は±15度である。このMEMSミラーと駆動用のICを2019年第1四半期にサンプル出荷する予定。2021年の量産を目指している。

デモの様子。写真上側にあるのが、MEMSミラーを搭載したLiDARモジュール。下側には、同モジュールで得た点群データを表示している(撮影:日経 xTECH)
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