2019年1月27~31日に韓国ソウルで開催されたMEMS(微小電子機械システム)分野の旗艦学会「IEEE MEMS 2019」で、米フロリダ大学(University of Florida)がわずか10nm厚のHf0.5Zr0.5O2(HZO)膜で高い圧電性を確認したと発表した。

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