2019年1月27~31日に韓国ソウルで開催されたMEMS(微小電子機械システム)分野の旗艦学会「IEEE MEMS 2019(The 32nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)」で、チップ(ダイ)面積を0.12mm2に抑えた加速度センサーの発表があった。本学会で筆者が注目した論文の1つだ。以下に紹介する。

小さいチップこそ競争力

 MEMSは半導体デバイスの仲間であり、その競争力の1つの源泉は小ささにある。1mm角のセンサーは3mm角のセンサーに対して、チップコストで約10倍の優位性がある。1cm角や2cm角といった「ばかでかい」チップは、よほどの付加価値がなければ実用にならない。

 10年程前、ベルギーIMECは、22mm×46mmと巨大な1100万画素のマイクロミラーアレイを開発した。これはオランダASMLのマスクレスエキシマレーザー露光装置の空間光変調器という付加価値の極めて高いMEMSだった。『日経エレクトロニクス』の2019年2月号では、ベンチャー企業のPreferred Networksがディープラーニング(深層学習)用AI(人工知能)チップを開発したと報じている(関連記事)。そのチップの大きさは32.2mm×23.5mmと巨大で、しかも4チップを1パッケージに収める。このくらい巨大でも、大規模サーバー向けだから成り立つ。同じくらいの大きさの振動発電MEMSはペイしないだろう。

 これまで筆者は、小さなMEMSとして0.4 mm角の圧力センサーや0.7 mm角のバルク振動ジャイロスコープについて紹介してきた(例えば「『Transducers 2017』に見るMEMS新潮流」)や日経BP主催の「技術者塾」)。

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