MEMS(微小電子機械システム)はスマートフォンの基幹部品にも使われ、自動運転実現の鍵も握る重要部品だ。MEMSによって何を実現できるのか。今後の日本の製造業にどのような影響を与えるのか。「日経xTECHラーニング」で「車載センサー・IoTデバイスに革新をもたらすMEMS技術」の講師を務める田中秀治氏に聞いた。(聞き手は高市清治)

東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 教授の田中秀治氏
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MEMS(微小電子機械システム)とは何ですか。

田中氏:簡単に言うと「半導体技術を使った、機械的に動く要素を含む部品」です。物理的な実世界と、コンピューターの中のサイバーな世界とを結ぶ役割を果たします。MEMSを搭載している製品はスマートフォンや自動車、ロボットなど多岐にわたります。あまりに身近にあるので、MEMSを知らない人でも、いつの間にかMEMSを搭載した製品をたくさん使っているはずです。

具体的にはどのようなものでしょうか。

田中氏:分かりやすいのは、携帯電話などに使われている加速度センサーでしょうか。LINEの「ふるふる」機能は知っていますか? スマホを近づけて小刻みに振るだけで、お互いのユーザーアカウントを交換できる機能です。スマホという現実の「もの」が振られていると伝えるMEMS加速度センサーがあるから、それをトリガーにスマホ間でユーザーアカウントという「データ」をやり取りする「ふるふる」機能を利用できるわけです。加速度センサー以外にも、スマホや携帯電話はMEMSをたくさん使っています。例えばマイク。スマホは、MEMSマイクを3、4個搭載しています。

 これらのMEMSマイクは、通話する人の声を拾う以外に、周辺や機器内部の雑音を拾うためにも使います。ノイズキャンセリングして通話音質を上げるのです。ヘッドフォンでは、MEMSマイクで検知した雑音成分から逆位相の波形の音波を生成して、内蔵した小型スピーカーなどから発して雑音を打ち消す使い方もしています。MEMSマイクも、「物理的な実世界と、コンピューターの中のサイバーな世界とを結ぶ」部品と言えるでしょう。