伊仏合弁のSTMicroelectronicsは2019年3月末、イタリアにあるパワー半導体の主力工場(「カターニア工場」、シチリア島)のクリーンルーム内を報道陣に初めて公開した(関連記事1関連記事2関連記事3)。見せたのは、車載用や産業用のSi(シリコン)-IGBTチップやSiC(炭化ケイ素)デバイスを量産しているライン「M5」(図1~2)。主にはテスト工程だ。自動車業界の顧客の要求に応えるべく蓄積した良否判定技術によって、出荷後の信頼性を高めている点をアピールした。

図1 カターニア工場の上空からの写真と概要
(図:ST)
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図2 パワー半導体ラインの「M5」
(写真:ST)
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