ナノインプリント技術の開発を手掛けるSCIVAX(本社川崎市)は、100nm以下のパターンを有する10mm角サイズの極小サイズのマスターモールドを、4万9800円で提供すると発表した。光学製品の開発などにおいて、低コストでナノインプリント技術の適用を検討できるとしている。ハーフピッチ(hp)で45nm、50nm、70nmのパターンに対応する。

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