日立製作所は、SiC(シリコンカーバイト、炭化ケイ素)を利用したCMOS集積回路技術を開発した。SiCは、ディスクリートのパワーデバイスとして利用されるのが一般的。今回のような集積回路に用いるのは珍しい。

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