今回の研磨パッドは、2つの技術を組み合わせて、高い研磨効率と表面粗さ・平坦性を両立させた。1つは、繊維表面積が大きく、繊維間空隙数の多いナノファイバー繊維(繊維直径700nm)を用いて不織布を作成し、研磨剤(スラリー)の吸い込みと付着性を向上させた。

ここからは会員の登録が必要です。