東芝は、従来の1/100以下の消費電力で動作する水素センサーを開発した。水素を吸収すると膨張する材料をセンサー膜として使い、膜の膨張で可動電極と固定電極間の距離が変わる機構をMEMSで作った。電極間の距離によって変化する静電容量を計測して水素を検知する(図1)。

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