1. はじめに

 「第5回 関西高機能素材Week 2017」がインテックス大阪で9月20日から22日まで開催された。本コラムでは、関西高機能素材Week 2017で筆者が注目した技術を紹介する。今回は、東レエンジニアリングの「ロール・ツー・ロール方式バリアー成膜装置」技術について報告する。

2. バリアー成膜装置

2.1 ドライ成膜試験装置

 同社が開発したバリアー成膜装置は、図1のドライ成膜試験装置をベースにしている。同図に示すように、台車引き出し方式により成膜ソースを簡単に切り替えられるのが特徴である。成膜法としてはCVD法(Chemical Vaper Deposition法、化学的気相堆積法)とスパッタ法を選択できる。スパッタ法の場合の電極は、平行平板カソード電極、ミラーカソード電極および円筒カソード電極を用意している。何を成膜するかによって最適な成膜法や電極を選べる。表1に装置の主な仕様を示す。

図1 ドライ成膜試験装置(東レエンジニアリングの資料)
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表1 ドライ成膜試験装置の仕様(東レエンジニアリングの資料)
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 この成膜試験装置は用途探索およびサンプル出荷に最適である。また、後述の量産機へのスケールアップが容易である。

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