東芝は、IoTシステムに使うセンサー素子を大幅に省電力化する技術を開発中だ。加速度センサーやジャイロ(角速度)センサーなどの消費電力を既存の1/10以下にして、電池に頼らずエネルギーハーベスティングデバイスによる電力で継続動作を可能にする。社会インフラや産業機器など長期にわたる監視の保守コストを抑える。

 センサーはMEMSで構成し、材料としてSiGe(シリコンゲルマニウム)を使う。MEMSで一般的な材料であるSi(シリコン)に比べて、素子やプロセスの面で利点を発揮できる場合がある。MEMSと信号処理回路とを前工程で重ねて1チップ化し、WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package)で封止する。

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