test element group

 LSIに発生する設計上や製造上の問題を見つけ出すための評価用素子。テスト構造(test structure)とも呼ばれる。

 LSIのプロセス開発,設計,製造などの各種段階で発生する問題点の要因を究明するため,LSIを構成する素子や構造の一部を切り出したり,原因の究明に適した専用の回路を構成することで,早期に原因を究明できるようにする。