ニューフレアテクノロジー、半導体製造向けマスク描画用データ生成ツールのD2Sに出資

米D2S社は、電子ビームを使ったマスク描画装置メーカーである、ニューフレアテクノロジーとのパートナーシップを拡張したと発表した。D2Sは、半導体製造向けマスクの描画用データ生成ツールの開発・販売を行っている。