米Silicon Laboratories(Silicon Labs)社は、1枚のSiダイに発振回路(オシレータ)とMEMS共振子を集積したクロック発振器を発売「Si50xファミリ」を発売した。同社は、今回開発した製造技術を「CMEMS」と呼ぶ。発振回路とMEMS共振子を同じSiダイに作り込んだことで、大きく3つのメリットが得られるとする。

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