セイコーエプソン、基本波で500MHz出力が可能な電圧制御型水晶発振器(VCXO)「VG-4513CBシリーズ」を開発し、サンプル出荷を開始した。一般に、ATカット水晶振動子の振動周波数を高めるには、水晶板を薄くする必要がある。このため量産性を考慮すると、基本波では200MHz程度が限界とされてきた。これ以上、高い周波数は、PLL回路や逓倍回路によって得られるが、スプリアス成分の発生やジッター特性の劣化という問題があった。今回同社は、水晶材料とMEMS技術を組み合わせた独自技術である「QMEMS」を利用することで、基本波で500MHzの発振を可能にした。

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