興研は、作業休止時などに少ない消費電力量でクリーン度を保つ「スリープモード」を備える開放型クリーンルーム設備「フロアーコーチExp」と「同Ezp」を開発し、販売を始めた。スリープモード時の消費電力量は通常運転モードの30%程度まで少なくできるが、通常運転モードと同じ「ISOクラス1」のクリーン度を維持できる。スリープモード時は開放部をスライド式のスクリーンでふさいぎ、ほぼ密閉空間とする構造によって実現した。

ここからは会員の登録が必要です。