大日本スクリーン製造は、裏面照射型CMOSイメージ・センサやMEMSデバイス、パワー半導体などの製造に使う薄型Siウエハー対応の枚葉式洗浄装置「SU-2000」を2012年12月5日に発売する。

ここからは会員の登録が必要です。