東芝電力検査サービス(本社横浜市)は、焦点位置を制御でき感度を高めた3次元超音波装置「Matrixeye EX+」を開発し、「ものづくりNEXT↑2012」(2012年11月14~16日開催、東京ビッグサイト)に出品した(図)。3次元超音波装置とは、プローブに埋め込んだ複数個の圧電素子を利用して、検査対象物に超音波を送り、その反射波を検出することで剥離や空隙、接合不良部などの欠陥を見つけるシステムである。Matrixeye EX+では、同社従来品で採用していた3次元開口合成法(3D-SAFT)に加えて、フェーズドアレイ法を採用して、超音波を照射する際の焦点位置の制御や、超音波が減衰しやすい素材〔ニッケル成分の多いステンレス鋼(SUS)など〕の検査を可能とした。超音波の焦点を絞ることで、検査したい部位を的確に検査できるようになる。