米Analog Devices社は、傾斜センサーに使える3軸MEMS加速度センサーIC「ADXL350」を発売した。特徴は、全動作温度範囲(-40~+85℃)にわたるオフセット温度特性の最小値/最大値を規定したことだ。X軸とY軸のオフセット温度特性の最小値/最大値は±0.31mg/℃、Z軸は±0.49mg/℃である(gは重力加速度)。同社によると、「既存のMEMS加速度センサーICの多くは、オフセット温度特性の標準値しか規定しておらず、高精度な加速度測定が求められる傾斜センサーなどの用途では、オフセット温度特性のキャリブレーション(校正)が不可欠だった」という。発売したICを使えば、キャリブレーションを実行しなくても、高い精度で加速度を測定できる。環境監視装置などの産業用電子機器や、医療用電子機器、民生用電子機器などに向ける。

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