半導体露光装置用の大手光源メーカーの米Cymer社は、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)に合わせて2011年12月7日に記者会見を開催、露光光源や有機EL(electroluminescence)ディスプレイ向けの低温多結晶Si-TFTのアニール用光源などについて説明した。その中で、EUV(extreme ultra violet)光源については以下の通り。

ここからは会員の登録が必要です。