ウシオ電機は、同社のモジュラー型一括等倍露光装置「UX4」シリーズの3機種を開発、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)で詳細を発表するとともに、順次販売を開始すると発表した。TSV(through silicon via)形成、MEMS製造、パワー半導体製造のそれぞれに向けて1機種ずつ製品化している。

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