MOSプロセスの微細化は止まるところを知らない。その際には単に寸法を小さくするだけではなく,新しいプロセス技術や材料,デバイス構造などが導入される。こうした技術は基本的にデジタル回路向けだが,アナログやRFにとっては「吉」なのか「凶」なのか。東芝が評価結果を報告した。

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