ニコンは,スループットを従来比で54%高めた i 線露光装置「NSR-SF150」を開発した(リリース)。300mmウエーハを180枚/時で処理できる。解像度は280nm,開口数(NA)は0.62,露光領域は26mm×33mmである。2007年第2四半期に販売を開始する。

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