ここでは半導体工場について説明しましょう。半導体の製造に適した場所の条件としては,まず(a)良質で多量の水が確保できる,(b)製造のための安定した電力供給ができる,(c)物流条件が整っている,ことが重要です。また,半導体はナノメートル(1nm=1/10億メートル)レベルの管理が必要になりますから,振動が少ないことも重要な条件です。特にリソグラフィ工程は振動の影響を強く受けるため,露光装置はクリーン・ルーム(半導体を製造するライン)の中でも振動の最も少ないところに設置することが必要です。

この先は会員の登録が必要です。今なら有料会員(月額プラン)登録で5月末まで無料!