容易に増床できないクリーンルームでは、限られたスペースを有効活用する観点から、設置装置の小型化が求められています。しかし、装置の機構的には小型化が可能であっても、使用されている各種パーツのサイズがボトルネックとなり、それ以上の小型化を実現できないというケースも少なくありません。

半導体製造装置のメーカー様の中には、できるだけ小さなパーツを必要とされている方も多くいらっしゃるのではないでしょうか。
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