1. はじめに

 第65回応用物理学会春季学術講演会が早稲田大学西早稲田キャンパスで3月17日~20日に開催された。その中から筆者が興味を持った講演を報告する。第6回は、山形大学とDICによる「凸版反転印刷電極を用いた有機トランジスタの四端子測定」と題した発表について報告する(発表番号:18p-D102-10)。

2. 凸版反転印刷法によるOTFT

 凸版反転印刷法は約1μmまでの高解像度が得られる印刷手法であり、有機トランジスタ(OTFT)の短チャネル化に適している(図1)。短チャネルOTFTの動作律速要因には、半導体のチャネル抵抗に加えて、電極/半導体界面のキャリア注入抵抗がある。しかし、凸版反転印刷電極を用いたOTFTのキャリア注入抵抗についての研究は、TLM(Transfer Line Method)法を用いて評価された一例のみである。TLM法は特別な素子構造を必要としない反面、前提条件に素子特性のばらつきが小さいこと、および電極がオーミック接触であることを仮定している(図2)。

図1 凸版反転印刷法の特徴
図2 従来の接触抵抗見積もりの課題
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